HFCVD相关论文
2020年,一种由热丝法（HFCVD）合成的黑色多晶钻石饰品进入中国珠宝市场。这种热丝法合成黑色多晶钻石的宝石学性质仍为空白,给黑色钻......
根据目前热丝化学气相沉积（Hot Filament Chemical Vapour Deposition, HFCVD）金刚石薄膜制备设备现状:存在热丝多为水平放置碳化变......
Application of Ultra-smooth Composite Diamond Film coated WC-Co Drawing Dies in Water-lubricating Co
This study presents a novel process combining hot filament chemical vapor deposition (HFCVD) method and polishing techni......
本文探讨了在HFCVD(hotfilamentchemicalvapordeposition)沉积金刚石薄膜中热丝数量、位置等几何参数对温度场和辐射场的影响。利......
采用热丝化学气相沉积法,以铁作为催化剂,在较低的衬底温度合成纳米SiC薄膜。铁粒子是在400Pa氢气的气氛中,通过用脉冲激光烧蚀铁......
为了更高效地加工碳/碳复合材料,在硬质合金刀具上采用热丝CVD法(HFCVD)沉积了微米纳米复合金刚石(micro-nanocrystalline composi......
Structure,morphology and electrical resistance of WxN thin film synthesized by HFCVD method with var
Tungsten nitride(WxN)thin films with good crystalline structure,high quality and relatively low resis-tivity were deposi......
WC-Co硬质合金广泛应用于刀具、模具、矿山工具和耐磨机械零件,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在WC-Co基体上沉积金刚石涂层,是进......
该论文采用偏压增强微波等离子体化学气相沉积法(Bias-enhanced MPCVD)在附有SiO掩膜图形的镜面抛光的Si(100)衬底上成功地选择性......
该文分析了低压气相生长金刚石膜现有设备和工艺的特点,确定热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,设备简单,成本低廉,膜层质量好,扩大生长......
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)和综合物理化学气相沉积(HPCVD)两种方法在单晶(-Al2O3基片上制备了MgB2超导薄膜。实验分原位法和非......
在传统的热丝化学气相沉积(HFCVD)大面积金刚石膜体系中,衬底温度场和气体状态参数空间场的分布直接决定着薄膜的形核密度和生长速......
一维碳纳米材料因为其独特的力学、电学、热学等特性以及化学稳定性,而在许多领域显示出了良好的应用前景,特别是其优异的场发射特......
X射线光刻掩模技术(XRL)被认为是实现32nm技术节点的下一代光刻技术(NGL)之一。作为X射线光刻掩模材料的候选者之一，金刚石薄膜的许......
润湿性能是固体表面的重要特征之一,无论在人们的日常生活还是在工农业生产中它都发挥着重要的作用,如防雪﹑防污染﹑抗氧化和防止电流......
多晶Si薄膜太阳电池研究引起了人们的广泛关注,而采用大晶粒多晶Si薄膜是提高其能量转换效率的一条可行途径。本工作采用低压化学......
该文首先简要介绍了化学气相沉积金刚石薄膜研究的历史与现状,然后着重介绍了作者在HFCVD系统上进行的实验研究.在金刚石场发射特......
Friction and Wear Performance of Boron Doped, Undoped Microcrystalline and Fine Grained Composite Di
Chemical vapor deposition(CVD) diamond films have attracted more attentions due to their excellent mechanical properties......
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫......
以WC -6%Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过......
针对CVD金刚石膜生长手动控制的种种不便,在生长系统中引入了计算机控制,实现了用计算机控制生长金刚石膜的衬底温度。详细介绍了......
Simulations of the Dependence of Gas Physical Parameters on Deposition Variables during HFCVD Diamon
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
以WC 6 %Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学......
A three-dimensional model was developed to investigate the influence of various hot filaments parameters on substrate te......
Characterization of (100)-orientated diamond film grown by HFCVD method with a positive DC bias volt
The (100)-orientated diamond film was deposited by hot-filament chemical vapor deposition (HFCVD) technology with a posi......
作者对金刚石膜气相合成的历史，金刚石薄膜的沉积方法以及金刚石薄膜沉积技术的发展方向和应用前景进行了论述。......
为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积......
本文用热丝 CVD 法在氮化硅复合陶瓷及 Sialon 陶瓷上沉积了金刚石薄膜,用 X 射线衍射、拉曼光谱、扫描电子显微镜、表面形貌仪、......
对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算，结果表明，在样品平面沿Ｘ，Ｙ方向均辐照度（温度）区的线性尺寸比高温梯度区的尺......
采用热丝化学气相沉积（HFCVD）技术，以甲烷（CH4）和硅烷（SiH4）作为源反应气体在Si（111）村底上生长了晶态SiC薄膜。通过扫描电子显微镜（SEM）、X射......
利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)以CH4和SiH4作为反应气体在Si衬底上制备了SiC薄膜。用X射线衍射(XRD)、傅立叶红外吸收谱(FTIR)等......
采用等离子体增强热丝化学气相沉积法在Ｓｉ（１１１）衬底上生长金刚石薄膜，扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分析结果表明金刚石晶体颗粒在（１１１）方向实现了取......
采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室（MGC）结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚......
在用热丝ＣＶＤ方法生长金刚石薄膜中，研究了生长条件对制备膜中石墨和非晶碳成份的影响，发现较高的碳源浓度或较低的衬底温度会使制备膜中......
以大面积HFCVD系统为研究对象,应用传热学理论建立了衬底温度场模型.根据金刚石成膜过程中对衬底温度大小及均匀性的工艺要求,对影......
本文研究了在热丝CVD方法生长金刚石薄膜中,基片表面的研磨处理对金刚石成核密度以及生长膜结构的影响。发现基片表面的预处理一方......
在硬质合金衬底上直接沉积金刚石薄膜，总是伴随着石墨化过程，钴是促进石墨生长的积极因素。由于衬底温度决定氢原子的活性和钴的扩散......
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型.利用该模型......
热丝化学气相(CVD)法沉积金刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视,然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来......
采用热丝化学气相沉积（HFCVD）技术在Si（111）衬底上生长了SiC薄膜．通过电子能谱（EDX）、X射线衍射（XRD）和时间分辨光谱等分析手段对样品结构、......
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Diamond films were prepared at different grid bias and substrate bias in hot filament chemical vapor deposition (HFCVD) ......
在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱......
采用平直钨丝作热解源，并借助钨丝支架的弹性恢复力，较好地解决了热丝热解化学气相沉积法（ＨＰＣＶＤ）合成金刚石中热线物变形问题，样品独立加热，基......
采用灯丝热解化学气相沉积方法，在不同的碳源气体氢气中合成金刚石薄膜，并研究不同工艺条件下金刚石膜生长速率。结果表明，在较低的灯......
